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发明名称 Dyed i-line positive-working radiation sensitive mixtures
摘要
申请公布号 EP0573220(B1) 申请公布日期 1996.10.30
申请号 EP19930304144 申请日期 1993.05.27
申请人 OCG MICROELECTRONICS MATERIALS, INC. 发明人 JAYARAMAN, TRIPUNITHURA V.;BRZOZOWY, DAVID J.
分类号 G03F7/004;G03F7/022;G03F7/09;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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