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发明名称 CHARGED PARTICLE PROJECTOR SYSTEM
摘要
申请公布号 EP0739536(A1) 申请公布日期 1996.10.30
申请号 EP19950904350 申请日期 1995.01.12
申请人 IMS IONEN MIKROFABRIKATIONS SYSTEME GESELLSCHAFT M.B.H. 发明人 STENGL, GERHARD;CHALUPKA, ALFRED;VONACH, HERBERT
分类号 G03F7/20;H01J37/09;H01J37/30;H01J37/317;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/266;H01L21/263 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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