发明名称 PROCESS FOR THE ANISOTROPIC AND SELECTIVE DRY ETCHING OF NITRIDE OVER THIN OXIDES
摘要
申请公布号 EP0739537(A1) 申请公布日期 1996.10.30
申请号 EP19950943617 申请日期 1995.11.13
申请人 NATIONAL SEMICONDUCTOR CORPORATION 发明人 HEBERT, FRANCOIS;BASHIR, RASHID
分类号 H01L21/311;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/311 主分类号 H01L21/311
代理机构 代理人
主权项
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