| 发明名称 |
PREPARATION OF P.L.T.THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08283098(A) |
申请公布日期 |
1996.10.29 |
| 申请号 |
JP19950355047 |
申请日期 |
1995.12.28 |
| 申请人 |
GENDAI DENSHI SANGYO KK |
发明人 |
RI SHIYOUSHIYAKU;KIN HOUKI;KIN SHIYOUTETSU;SAI SOUKAN |
| 分类号 |
C30B28/12;C23C16/02;C23C16/40;C30B29/32;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/31;H01L21/314;H01L21/316;(IPC1-7):C30B29/32 |
主分类号 |
C30B28/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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