| 发明名称 |
PRODUCTION OF ETCHED PARTS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08283964(A) |
申请公布日期 |
1996.10.29 |
| 申请号 |
JP19950089592 |
申请日期 |
1995.04.14 |
| 申请人 |
TOPPAN PRINTING CO LTD |
发明人 |
WADA TOMOKI;FUKAGAWA HIROTAKA;YAMAMOTO TATSUHIKO |
| 分类号 |
C23F1/00;H01L21/304;(IPC1-7):C23F1/00 |
主分类号 |
C23F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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