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发明名称 GAS MIXTURE FOR SELECTIVE DRY ETCHING OF INSULATING LAYERS
摘要
申请公布号 RU1823714(C) 申请公布日期 1996.10.27
申请号 SU19914955092 申请日期 1991.06.24
申请人 NAUCHNO-PROIZVODSTVENNOE OB"EDINENIE "INTEGRAL" 发明人 TSYBULKO I.A.;KLIMENKOV V.V.;KRASNITSKIJ V.YA.;TURTSEVICH A.S.
分类号 H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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