发明名称 METHOD OF FORMING A THIN FILM PATTERN OF METAL OR METAL COMPOUNDS
摘要
申请公布号 GB1269973(A) 申请公布日期 1972.04.12
申请号 GB19690026243 申请日期 1969.05.22
申请人 WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED 发明人 JAMES HARRY MOTT
分类号 C23C14/04;H01L49/02;H05K3/04 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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