KÜHLUNGSPANNVORRICHTUNG MIT FLÜSSIGER ZWISCHENSCHICHT FÜR DIE VERARBEITUNG VON HALBLEITERSCHICHTEN,申请号DE19916018921T-传众专利搜索

发明名称	KÜHLUNGSPANNVORRICHTUNG MIT FLÜSSIGER ZWISCHENSCHICHT FÜR DIE VERARBEITUNG VON HALBLEITERSCHICHTEN
摘要
申请公布号	DE69118921(T2)	申请公布日期	1996.10.24
申请号	DE19916018921T	申请日期	1991.07.25
申请人	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US	发明人	DEL PUERTO, SANTIAGO, E., MILTON, NY 12547, US;GASCHKE, PAUL, M., PLEASANTVILLE, NY 10570, US
分类号	B23Q3/08;H01L21/00;H01L21/66;H01L21/683;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/68	主分类号	B23Q3/08
代理机构		代理人
主权项
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