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经营范围
发明名称
Teilchenstrahlgerät
摘要
申请公布号
DE59108193(D1)
申请公布日期
1996.10.24
申请号
DE19915008193
申请日期
1991.05.23
申请人
ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERPRUEFTECHNIK MBH, 85551 KIRCHHEIM, DE
发明人
PLIES, ERICH, DR. RER. NAT., W-8000 MUENCHEN 83, DE
分类号
H01J37/04;H01J37/12;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/28
主分类号
H01J37/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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