发明名称 Teilchenstrahlgerät
摘要
申请公布号 DE59108193(D1) 申请公布日期 1996.10.24
申请号 DE19915008193 申请日期 1991.05.23
申请人 ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERPRUEFTECHNIK MBH, 85551 KIRCHHEIM, DE 发明人 PLIES, ERICH, DR. RER. NAT., W-8000 MUENCHEN 83, DE
分类号 H01J37/04;H01J37/12;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/28 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
主权项
地址