Cathodic sputtering apparatus,申请号EP19920112025-传众专利搜索

发明名称	Cathodic sputtering apparatus
摘要
申请公布号	EP0546251(B1)	申请公布日期	1996.10.23
申请号	EP19920112025	申请日期	1992.07.15
申请人	BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AKTIENGESELLSCHAFT	发明人	ZEJDA, JAROSLAV, DIPL.-ING.
分类号	C23C14/34;G11B5/851;H01J37/32;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34;G11B5/84	主分类号	C23C14/34
代理机构		代理人
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