发明名称 AN IMPROVED PROCESS FOR NITRIDING SILICON
摘要
申请公布号 GB1273145(A) 申请公布日期 1972.05.03
申请号 GB19680020061 申请日期 1968.04.26
申请人 THE PLESSEY COMPANY LIMITED 发明人 GERALD GEORGE DEELEY
分类号 C01B21/068;C04B35/591;C04B35/593 主分类号 C01B21/068
代理机构 代理人
主权项
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