发明名称 MICROSCOPE
摘要
申请公布号 KR960014968(B1) 申请公布日期 1996.10.23
申请号 KR19920007759 申请日期 1992.05.08
申请人 ROHM CO.,LTD. 发明人 NAKADA, NAOTARO;KUBO, WATARU
分类号 G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
地址