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经营范围
发明名称
Radio frequency plasma generator
摘要
申请公布号
GB9619141(D0)
申请公布日期
1996.10.23
申请号
GB19960019141
申请日期
1996.09.13
申请人
AEA TECHNOLOGY PLC
发明人
分类号
H01J37/32
主分类号
H01J37/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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