发明名称
摘要
申请公布号 JP2547755(B2) 申请公布日期 1996.10.23
申请号 JP19870023605 申请日期 1987.02.05
申请人 HITACHI LTD 发明人 TAMAOKI YOICHI;IKEDA SEIJI;WASHIO KATSUYOSHI;ONOCHI YUKIHIRO;NAKAMURA TOORU;UCHIDA AKIHISA;WATANABE KUNIHIKO
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L27/06;H01L29/72;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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