氧化锡为基的气体敏感元件及其制法

摘要

具有可再见气体灵敏度性能的气体敏感元件的制造方法及此法制造的气体敏感元件。此方法包括如下步骤：a)在聚合物存在下溶解在一种极性有机溶剂中的空间位阻的锡(Ⅳ)烷氧化物的水解，该聚合物的分子量相当低且具有能与锡配位的官能团；b)用强无机酸处理所得水溶液以除去该聚合物；c)分离此固体悬浮液；d)沉积和接着在低于500℃热处理使一定量固体沉积在适宜的基体上，从而得到气体敏感头，和e)气体敏感头的敏化。

主权项

1.氧化锡气体敏感头的制造方法，此方法包括：a)一聚合物存在下溶于一极性有机溶剂的空间位阻锡(IV)烷氧化物进行水解，该聚合物的分子量相当低并具有能与锡配位的官能团；b)用一种强酸处理所得溶液以除去该聚合物；c)分离该固体悬浮物；d)在一适宜基体上沉积一定量固体和接着在低于500℃进行热处理以得到气体敏感头；和e)该气体敏感头的敏化。