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发明名称
摘要
申请公布号 JP2547790(B2) 申请公布日期 1996.10.23
申请号 JP19870232278 申请日期 1987.09.18
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 MATSUMOTO HISAAKI
分类号 H01L23/40;H01L21/52;H01L25/11;(IPC1-7):H01L25/11 主分类号 H01L23/40
代理机构 代理人
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