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发明名称
摘要
申请公布号 JP2545953(B2) 申请公布日期 1996.10.23
申请号 JP19880253505 申请日期 1988.10.06
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 SATO SADANOBU
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/76;H01L23/29;H01L23/31;H01L29/06;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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