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发明名称 PROCESS DEVICE, SURFACE TREATMENT AND GAS FEED PIPELINE
摘要
申请公布号 JPH08277464(A) 申请公布日期 1996.10.22
申请号 JP19920336401 申请日期 1992.12.16
申请人 TAKAHASHI KEN 发明人 TAKAHASHI KEN
分类号 C30B25/14;C23C14/32;C23C14/34;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
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