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发明名称 VAPOR GROWTH METHOD
摘要
申请公布号 JPH08279462(A) 申请公布日期 1996.10.22
申请号 JP19950081607 申请日期 1995.04.07
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NUMANO MASAKUNI
分类号 H01L21/205;H01L21/20;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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