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发明名称 VAPOR GROWTH APPARATUS AND METHOD FOR REMOVING REACTION TUBE FROM VAPOR GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH08279463(A) 申请公布日期 1996.10.22
申请号 JP19950080132 申请日期 1995.04.05
申请人 NIPPON SANSO KK 发明人 UBUKATA AKINORI
分类号 C30B25/14;C01B25/08;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
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