| 发明名称 |
METHOD FOR INSPECTING SILICON WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08278292(A) |
申请公布日期 |
1996.10.22 |
| 申请号 |
JP19950100771 |
申请日期 |
1995.03.31 |
| 申请人 |
SUMITOMO SITIX CORP |
发明人 |
OCHIAI TAKASHI;MIYAZAKI MORIMASA |
| 分类号 |
G01N29/14;C30B29/06;G01J5/48;(IPC1-7):G01N29/14 |
主分类号 |
G01N29/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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