| 发明名称 |
METAL NITRIDE FILM PROCESSING METHOD THAT DECREASES SILICON MOVEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08279511(A) |
申请公布日期 |
1996.10.22 |
| 申请号 |
JP19950343824 |
申请日期 |
1995.12.28 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
GUREN ROI HAWAA;DANIERU DEIBITSUDO KOSUTERUNITSUKU;II CHIEN SHII |
| 分类号 |
H01L23/52;C23C14/58;H01L21/3205;H01L21/321;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/320 |
主分类号 |
H01L23/52 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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