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发明名称
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE, NON-VOLTATILE SEMICONDUCTOR STORING DEVICE AND THEIR MANUFACTURE
摘要
申请公布号
JPH08279598(A)
申请公布日期
1996.10.22
申请号
JP19950082721
申请日期
1995.04.07
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
ONODA HIROSHI
分类号
H01L21/8247;G11C16/02;G11C16/04;H01L27/10;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L27/10;H01L21/824
主分类号
H01L21/8247
代理机构
代理人
主权项
地址
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