发明名称 METHOD FOR PRODUCTION OF COATING
摘要
申请公布号 RU880178(C) 申请公布日期 1996.10.20
申请号 SU19802932855 申请日期 1980.06.04
申请人 INSTITUT ELEKTRONIKI AN BSSR 发明人 KRIVONOSHENKO V.I.;SELIFANOV O.V.;TOCHITSKIJ E.I.
分类号 H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/285 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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