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发明名称 DEVICE FOR DETECTING AMOUNT OF DISPLACEMENT OF PIEZOELECTRIC DRIVE MEMBER
摘要
申请公布号 JPH08271212(A) 申请公布日期 1996.10.18
申请号 JP19950070164 申请日期 1995.03.28
申请人 NIKON CORP 发明人 NAKANO KATSUSHI
分类号 G01B11/00;G01N37/00;G01Q10/04;G01Q20/02;G01Q60/10;G05D3/00;H01L41/083;(IPC1-7):G01B11/00 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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