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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08274324(A) 申请公布日期 1996.10.18
申请号 JP19950076703 申请日期 1995.03.31
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 INOUE SUSUMU
分类号 H01L29/78;H01L21/336;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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