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发明名称
DEVICE FOR PERFORMING PRECISION WORK ON SAMPLE
摘要
申请公布号
JPH08273570(A)
申请公布日期
1996.10.18
申请号
JP19950072107
申请日期
1995.03.29
申请人
JEOL LTD
发明人
TAKEUCHI NAOYUKI
分类号
G01N23/00;F16F15/02;G01N1/28;G01R33/30;H01J37/20;(IPC1-7):H01J37/20
主分类号
G01N23/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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