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经营范围
发明名称
THIN FILM TRANSISTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH08274035(A)
申请公布日期
1996.10.18
申请号
JP19950112207
申请日期
1995.04.03
申请人
MURAKAMI SHOZO
发明人
MURAKAMI SHOZO
分类号
C23C16/50;C23C16/54;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
C23C16/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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