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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08271588(A) 申请公布日期 1996.10.18
申请号 JP19950074253 申请日期 1995.03.30
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 KARASAWA MASAYUKI
分类号 G01R31/319;G01R31/28;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/319
代理机构 代理人
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