发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH08274330(A) |
申请公布日期 |
1996.10.18 |
申请号 |
JP19950113447 |
申请日期 |
1995.05.11 |
申请人 |
SEIKO INSTR INC |
发明人 |
MIYAGI MASAKI;KONISHI HARUO;KUBO KAZUAKI;KOJIMA YOSHIKAZU;SHIMIZU TORU;SAITO YUTAKA;MACHIDA TORU;KANEKO TETSUYA |
分类号 |
H01L29/43;H01L21/265;H01L21/336;H01L21/8234;H01L27/088;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/78 |
主分类号 |
H01L29/43 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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