发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH08274330(A) 申请公布日期 1996.10.18
申请号 JP19950113447 申请日期 1995.05.11
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 MIYAGI MASAKI;KONISHI HARUO;KUBO KAZUAKI;KOJIMA YOSHIKAZU;SHIMIZU TORU;SAITO YUTAKA;MACHIDA TORU;KANEKO TETSUYA
分类号 H01L29/43;H01L21/265;H01L21/336;H01L21/8234;H01L27/088;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L29/43
代理机构 代理人
主权项
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