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发明名称 EPITAXIAL WAFER AND ITS MANUFACTURE AS WELL AS MANUFACTURE OF VARIABLE-CAPACITANCE DIODE AND VARIABLE-CAPACITANCE DIODE
摘要
申请公布号 JPH08274353(A) 申请公布日期 1996.10.18
申请号 JP19950078559 申请日期 1995.04.04
申请人 HITACHI LTD 发明人 NAGASE HIROYUKI
分类号 H01L21/20;H01L21/265;H01L29/93;(IPC1-7):H01L29/93 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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