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发明名称 ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH08274002(A) 申请公布日期 1996.10.18
申请号 JP19950072766 申请日期 1995.03.30
申请人 HITACHI LTD 发明人 SASAKI MINORU;ITO HIROYUKI;IIIZUMI KEN
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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