| 发明名称 |
SCANNING ELECTRON MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08273575(A) |
申请公布日期 |
1996.10.18 |
| 申请号 |
JP19950072770 |
申请日期 |
1995.03.30 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
OBARA ATSUSHI;OTAKA TADASHI;MAEDA TATSUYA;SASADA KATSUHIRO |
| 分类号 |
H01J37/20;H01J37/21;H01J37/22;H01J37/244;(IPC1-7):H01J37/21 |
主分类号 |
H01J37/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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