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发明名称 PLASMA PROCESSING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH08274083(A) 申请公布日期 1996.10.18
申请号 JP19950070264 申请日期 1995.03.29
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 MABUCHI HIROTSUGU;EHATA TOSHIKI
分类号 H05H1/46;C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31;H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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