发明名称 OPTICAL LINE INSPECTING METHOD AND OPTICAL LINE INSPECTING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH08271375(A) 申请公布日期 1996.10.18
申请号 JP19950069554 申请日期 1995.03.28
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 MOBARA MASAICHI;INOUE SUSUMU
分类号 G01M11/00;G01M11/02;(IPC1-7):G01M11/00 主分类号 G01M11/00
代理机构 代理人
主权项
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