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发明名称 METHOD OF FEEDING ULTRAHIGH PURITY GAS AND ITS SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH08274028(A) 申请公布日期 1996.10.18
申请号 JP19950348677 申请日期 1995.12.18
申请人 OMI TADAHIRO 发明人 OMI TADAHIRO
分类号 B01J3/02;B01J4/00;C23C14/24;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/203;H01L21/306 主分类号 B01J3/02
代理机构 代理人
主权项
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