发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH08274337(A) 申请公布日期 1996.10.18
申请号 JP19950072682 申请日期 1995.03.30
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 IMAI MASASHI;SUGIYAMA NAOHARU
分类号 H01L29/73;H01L21/02;H01L21/318;H01L21/331;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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