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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08274348(A) 申请公布日期 1996.10.18
申请号 JP19950099796 申请日期 1995.03.30
申请人 TOKIN CORP 发明人 YOSHIKAWA HIDEYUKI
分类号 H01L29/80;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/80 主分类号 H01L29/80
代理机构 代理人
主权项
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