发明名称 MANUFACTURE OF MOS TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH08274185(A) 申请公布日期 1996.10.18
申请号 JP19950073694 申请日期 1995.03.30
申请人 SONY CORP 发明人 TSUKAMOTO MASANORI
分类号 H01L29/78;H01L21/20;H01L21/265;H01L21/336;H01L21/8238;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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