| 发明名称 |
TREATING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08274106(A) |
申请公布日期 |
1996.10.18 |
| 申请号 |
JP19950073740 |
申请日期 |
1995.03.30 |
| 申请人 |
NIPPON PRECISION CIRCUITS KK |
发明人 |
HISHINUMA KUNIYUKI |
| 分类号 |
H01L21/66;H01L21/26;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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