| 发明名称 |
PROJECTIVE LITHOGRAPHY DEVICE BY CHARGED PARTICLE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08274020(A) |
申请公布日期 |
1996.10.18 |
| 申请号 |
JP19960022853 |
申请日期 |
1996.02.08 |
| 申请人 |
IMS IONEN MIKROFAB SYST GMBH |
发明人 |
GERUHARUTO SHIYUTENKURU;ARUFURETSUTO CHIYARUPUKA;HERUBERUTO FUONAHA;HANSU ROESHIYUNAA |
| 分类号 |
G21K5/04;G03F7/20;H01J37/30;H01J37/305;H01J37/317;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
G21K5/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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