发明名称 Quinonediazide sulfonic acid esters and positive photoresist compositions comprising the same
摘要
申请公布号 SG33446(A1) 申请公布日期 1996.10.18
申请号 SG19950001032 申请日期 1995.08.02
申请人 SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED 发明人 SAKAMOTO HIROMU;OSAKI HARUYOSHI;ICHIKAWA KOJI;UETANI YASUNORI
分类号 C07C15/16;G03C1/08;(IPC1-7):C07C15/16 主分类号 C07C15/16
代理机构 代理人
主权项
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