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发明名称 DYNAMIC QUANTITY SENSOR
摘要
申请公布号 JPH08271361(A) 申请公布日期 1996.10.18
申请号 JP19950099837 申请日期 1995.03.30
申请人 NIPPON SEIKI CO LTD 发明人 KOBAYASHI IKUO
分类号 G01L1/00;G01L9/00;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):G01L9/00 主分类号 G01L1/00
代理机构 代理人
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