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发明名称 ELECTROSTATIC ACTUATOR
摘要
申请公布号 JPH08275555(A) 申请公布日期 1996.10.18
申请号 JP19950072007 申请日期 1995.03.29
申请人 MITSUBISHI CHEM CORP;DIAFOIL CO LTD 发明人 KONNO SHINJI;FUKUYAMA HISASHI;OZAKI YOSHIHIDE
分类号 H02N1/00;(IPC1-7):H02N1/00 主分类号 H02N1/00
代理机构 代理人
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