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发明名称 HALBLEITER VORRICHTUNG UND HERSTELLUNGSVERFAHREN MITTELS MIKROWELLEN-NIEDERSCHLAG.
摘要
申请公布号 DE69213759(D1) 申请公布日期 1996.10.17
申请号 DE1992613759 申请日期 1992.11.23
申请人 UNITED SOLAR SYSTEMS CORP., TROY, MICH., US 发明人 GUHA, SUBHENDU, TROY, MI 48098, US;BANERJEE, ARINDAM, MADISON HEIGHTS, MI 48071, US;YANG, CHI, C., TROY, MI 48098, US
分类号 C23C16/511;H01J37/32;H01L31/075;H01L31/20;(IPC1-7):H01L31/18;H01L21/205 主分类号 C23C16/511
代理机构 代理人
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