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发明名称 Lösungsmittel für Photolack-Zusammensetzungen
摘要
申请公布号 DE3751902(D1) 申请公布日期 1996.10.17
申请号 DE19873751902 申请日期 1987.12.22
申请人 SHIPLEY CO., INC., NEWTON, MASS., US 发明人 DANIELS, BRIAN KENNETH, CHESTERFIELD MISSOURI 63017, US;MADOUX, DAVID CHARLES, MARYLAND HEIGHTS MISSOURI 63043, US;TEMPLETON, MICHAEL KARPOVICH, ST.LOUIS MISSOURI 63074, US;TREFONAS III, PETER, ST. LOUIS MISSOURI 63146, US;WOODBREY, JAMES CALVIN, CHESTERFIELD MISSOURI 63017, US;ZAMPANI, ANTHONY, ST. LOUIS MISSOURI 63146, US
分类号 G03C1/72;G03F7/004;G03F7/016;G03F7/022;G03F7/039;G03F7/30;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03C1/72
代理机构 代理人
主权项
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