发明名称 ROBOT BIAXIAL CON ACOPLAMIENTO MAGNETICO.
摘要 UN ROBOT QUE TIENE UN PAR DE ACOPLAMIENTOS MAGNETICOS (517,530;522,527) QUE ACOPLA CADA UNO UN MOTOR (51,52) EN UNA PRIMERA CAMARA CILINDRICA (53) A UN ANILLO CILINDRICO ASOCIADO (529,528) SEPARADO CERCA DE LA PARED CILINDRICA (55) DE DICHA PRIMERA CAMARA (53). EL ROBOT INCLUYE UN MECANISMO PARA CONVERTIR LA ROTACION DE CADA UNO DE ESTOS ANILLOS (529,528) EN MOVIMIENTOS SEPARADOS DEL ROBOT. EN LA VERSION PREFERIDA, ESTOS MOVIMIENTOS SEPARADOS SON RADIALES Y ROTACIONALES. TAL CONSTRUCCION PERMITE REDUCIR LA CANTIDAD DE PRODUCCION DE PARTICULAS POR TAL ROBOT.
申请公布号 ES2090074(T3) 申请公布日期 1996.10.16
申请号 ES19900119433T 申请日期 1990.10.10
申请人 APPLIED MATERIALS INC. 发明人 LOWRANCE, ROBERT B.
分类号 B25J9/06;B25J9/10;B25J9/12;B25J19/00;B25J21/00;F16D7/02;F16H49/00;H01L21/00;H01L21/673;H01L21/677;(IPC1-7):B25J9/12 主分类号 B25J9/06
代理机构 代理人
主权项
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