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发明名称 Thin film actuated mirror array for use in an optical projection system and method for the manufacture thereof.
摘要
申请公布号 EP0671645(A3) 申请公布日期 1996.10.16
申请号 EP19950103441 申请日期 1995.03.09
申请人 DAEWOO ELECTRONICS CO., LTD 发明人 JL, JEONG-BEOM;MIN, YONG-KI
分类号 H04N9/31;G02B26/08;H01L27/20;H01L41/09;H04N5/74;(IPC1-7):G02B26/08 主分类号 H04N9/31
代理机构 代理人
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