发明名称
摘要
申请公布号 JP2545113(B2) 申请公布日期 1996.10.16
申请号 JP19880116940 申请日期 1988.05.16
申请人 NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE 发明人 AWAYA NOBUYOSHI;ARITA MUTSUNOBU
分类号 C23C16/28;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;(IPC1-7):C23C16/28;H01L21/320 主分类号 C23C16/28
代理机构 代理人
主权项
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