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摘要
申请公布号
JP2544936(B2)
申请公布日期
1996.10.16
申请号
JP19870195184
申请日期
1987.08.06
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
TAKI MASAKAZU;NISHIMAE JUNICHI;YOSHIZAWA KENJI;YANAGI TADASHI;UEDA YOSHIHIRO
分类号
H01L21/205;H01L21/31;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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