发明名称
摘要
申请公布号 JP2544936(B2) 申请公布日期 1996.10.16
申请号 JP19870195184 申请日期 1987.08.06
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TAKI MASAKAZU;NISHIMAE JUNICHI;YOSHIZAWA KENJI;YANAGI TADASHI;UEDA YOSHIHIRO
分类号 H01L21/205;H01L21/31;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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